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機械設(shè)備
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極高真空規(guī):抑制規(guī)的簡介
抑制規(guī)較B-A規(guī)改進(jìn)之處是把離子收集極移出了電離區(qū)(即移出柵極)。為了增大收集離子的效率,把絲狀收集極改為圓片狀,并用屏蔽盒將它包圍起來,在屏蔽盒內(nèi)還增加了一個抑制極,從而組成了一個新的離子收集系統(tǒng)。屏蔽盒...
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極高真空規(guī):彎注規(guī)的簡介
彎注規(guī)是抑制規(guī)的發(fā)展,即在抑制規(guī)的電離區(qū)域與離子收集系統(tǒng)之間增加了一個靜電偏轉(zhuǎn)系統(tǒng),使離子收集極系統(tǒng)的軸線相對柵極的軸線偏轉(zhuǎn)了90°。靜電偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)的作用如下:①穿過聚焦極圓孔的離子束在偏轉(zhuǎn)極的靜電場...
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極高真空規(guī):雙彎注規(guī)的簡介
雙彎注規(guī)是管型電子倍增器電離規(guī)的一種,其規(guī)管靈敏度系數(shù)K=1.5×10^18[(C/S①/(A.Pa)],測量下限PR≤1×10^-10Pa,預(yù)計可測10^-12Pa的極高真空。雙彎注規(guī)的結(jié)構(gòu)原理如圖11-54所示。離子在偏轉(zhuǎn)極V1的電...
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保障真空斷路器安全可靠運行的研究與分析
隨著真空斷路器使用量的迅速增長,真空斷路器故障率也在增加。據(jù)全國電力系統(tǒng)開關(guān)設(shè)備狀況統(tǒng)計:相對其他種類的斷路器,真空斷路器的開斷與關(guān)合事故比例較高,問題主要出在滅弧室部分,滅弧室漏氣、真空度不足是主要原...
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真空規(guī):分離規(guī)短收集極規(guī)等概述
分離規(guī)(圖11-56)與抑制規(guī)不同之處是收集極為短的細(xì)金屬絲。增加了離子反射極,沒有抑制極,環(huán)形陰極是環(huán)繞柵極安裝的。陰極、屏和離子反射極的電壓都是200V,柵極電壓Vg=305V,發(fā)射電流Ie=2mA,離子收集極通過靜電計接...
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真空規(guī):場致發(fā)射冷陰極彎注規(guī)場
致發(fā)射冷陰極彎注規(guī)由場致發(fā)射冷陰極、離子產(chǎn)生器、離子偏轉(zhuǎn)器及離子收集極四部分組成,結(jié)構(gòu)如圖11-55所示。離子產(chǎn)生器主要部分是一個Pt-clad-Mo合金柵網(wǎng),電子由冷陰極發(fā)射后在柵網(wǎng)空間振蕩并使氣體分子電離,離子...
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極高真空規(guī):球柵型離子譜規(guī)簡介
球柵型離子譜規(guī)的結(jié)構(gòu)如圖11-59所示。環(huán)形燈絲發(fā)射的電子射入球形柵網(wǎng)內(nèi),在球心附近形成一負(fù)空間電荷,電離產(chǎn)生的離子也聚集在球中心附近,因此可使氣相電離離子(處于球中央負(fù)電位處)與ESD離子(柵極表面產(chǎn)生的離子)...
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真空規(guī)校準(zhǔn)的概述
真空標(biāo)準(zhǔn)是真空測量的基礎(chǔ),也是研究和發(fā)展真空測量的有力工具。在計量學(xué)中,計量標(biāo)準(zhǔn)的精度指的是單個量多次獨立測量之間的相互一致的程度。為了確定計量標(biāo)準(zhǔn)的精度,需要對測量歷史和偶然誤差進(jìn)行研究。計量標(biāo)準(zhǔn)的...
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絕對真空規(guī)比對校準(zhǔn)系統(tǒng)
以絕對真空規(guī)為標(biāo)準(zhǔn),將被校真空規(guī)與絕對真空規(guī)進(jìn)行直接比較的系統(tǒng),稱為絕對真空規(guī)比對校準(zhǔn)系統(tǒng)。絕對真空規(guī)除前面已分別介紹的精密U形壓力計、壓縮式真空規(guī)、磁懸轉(zhuǎn)子粘滯性規(guī)和克努曾規(guī)以外,還有活塞規(guī)、葉片規(guī)...
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動態(tài)流量法校準(zhǔn)系統(tǒng)的原理
圖11-70是動態(tài)流量法校準(zhǔn)系統(tǒng)的原理圖。根據(jù)氣流連續(xù)性方程,有在穩(wěn)定平衡時如果我們用絕對規(guī)測量pM,并據(jù)分子流理論,按結(jié)構(gòu)尺寸計算出(11-52)就可計算出壓力p,于是就能對接于校準(zhǔn)室上的規(guī)管進(jìn)行校準(zhǔn)。在氣流處于熱...
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動態(tài)流量法校準(zhǔn)系統(tǒng)設(shè)計原則
概括地說,動態(tài)流量法具體地說,有如下四個原則:①盡可能保證分子流狀態(tài)。例如要防止分子束射效應(yīng),避免定向流的存在。國際標(biāo)準(zhǔn)化組織公布的草案(ISO/DIS3570/1)中規(guī)定,流導(dǎo)U2前后的兩個容器的內(nèi)切球表面積應(yīng)比孔U2...
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動態(tài)流量法校準(zhǔn)系統(tǒng)
已建成的動態(tài)流量法校準(zhǔn)系統(tǒng)按結(jié)構(gòu)分類有如下幾種類型:固定流導(dǎo)法(圖11-71、圖11-72)、可變流導(dǎo)法(圖11-73)及參考轉(zhuǎn)換器法(圖11-74)等。所采用的上游參考標(biāo)準(zhǔn)有精密U形壓力計、壓縮式真空規(guī)、精密流量計、電容薄...
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動態(tài)流量法的誤差
動態(tài)流量法的誤差,來源于下列三個方面:①與式(11-51)相比,式(11-52)忽略了一些次要因素的作用。如果采用式(11-52)進(jìn)行計算,就要引入誤差。但是由這些被忽略的因素所引起的誤差,即使不能確定,也還是能夠粗略估算的...
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動態(tài)流量法的理論問題
分子流理論是動態(tài)流量法的理論基礎(chǔ)。但是在超高真空和極高真空區(qū)間,分子流理論的前提假設(shè)條件已難以完全滿足,一些基本定律已不完全適用。動態(tài)流量法的特點是將大流量的氣流注入到校準(zhǔn)室中,通過比較大的流導(dǎo)U2進(jìn)行...
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真空標(biāo)準(zhǔn)的發(fā)展趨勢
1.解決準(zhǔn)確度問題①出現(xiàn)更多類型的絕對真空標(biāo)準(zhǔn)。②真空標(biāo)準(zhǔn)間互校的研究和進(jìn)行國際性的比對。③需加強有關(guān)基礎(chǔ)理論的研究。例如開展與超高真空校準(zhǔn)密切有關(guān)的超稀薄氣流的研究;開展與膨脹法校準(zhǔn)密切有關(guān)的吸附理...
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