真空規(guī)校準(zhǔn)的概述
發(fā)布時(shí)間：2019-05-07 19:10:40 | 人感興趣 | 評(píng)分：3 | 收藏：
真空標(biāo)準(zhǔn)是真空測(cè)量的基礎(chǔ)，也是研究和發(fā)展真空測(cè)量的有力工具。
在計(jì)量學(xué)中，計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)的精度指的是單個(gè)量多次獨(dú)立測(cè)量之間的相互一致的程度。為了確定計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)的精度，需要對(duì)測(cè)量歷史和偶然誤差進(jìn)行研究。計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)的準(zhǔn)確度指的是測(cè)量值與其真值之間的相互一致的程度。一般情況下，真值是未知的。為了確定計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)的準(zhǔn)確度，需要對(duì)許多測(cè)量方法進(jìn)行互校和對(duì)系統(tǒng)誤差進(jìn)行研究。
建立基準(zhǔn)，要求以不同地區(qū)（或不同實(shí)驗(yàn)室）相同類型（或不同類型）的計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行互校作為基礎(chǔ)。
建立基準(zhǔn)，要求對(duì)基準(zhǔn)進(jìn)行直接的（或間接的）國(guó)際比對(duì)。
目前，長(zhǎng)度、質(zhì)量、時(shí)間、溫度等基本計(jì)量已做到了國(guó)際性的統(tǒng)一，但是，真空標(biāo)準(zhǔn)遠(yuǎn)沒(méi)有達(dá)到這樣的水平，還沒(méi)有進(jìn)行各國(guó)真空標(biāo)準(zhǔn)之間的比對(duì)，而且真空標(biāo)準(zhǔn)的精度不高，準(zhǔn)確度還沒(méi)有很好解決，要做到世界規(guī)模的真空量值的統(tǒng)一，還要付出巨大努力。
對(duì)于相對(duì)真空規(guī)的校準(zhǔn)，可采用與絕對(duì)真空規(guī)直接比對(duì)的方法來(lái)進(jìn)行。但是目前比較可靠的絕對(duì)真空規(guī)只有精密U形壓力計(jì)和壓縮式真空規(guī)。所以用直接對(duì)比法進(jìn)行校準(zhǔn)的壓力區(qū)間僅為10^5Pa—l0^-3Pa，為了擴(kuò)展校準(zhǔn)壓力的下限，已發(fā)展了許多不同類型的絕對(duì)真空校準(zhǔn)系統(tǒng)。
表11-9給出了六種類型的絕對(duì)真空校準(zhǔn)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
表11-10給出了六種類型的絕對(duì)真空校準(zhǔn)系統(tǒng)的主要特性。
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