1、電阻真空計
利用加熱元件的電阻與溫度有關，元件的溫度又與氣體傳導有關的原理，通過電橋電路來測量真空度的真空計。
2、麥克勞真空計（壓縮式真空計）
將待測的氣體用汞（或油）壓縮到一極小體積，然后比較開管和閉管的液柱差，利用玻義爾定律直接算出氣體壓強的一種絕對真空計。
3、B－A規(guī)
這是一種陰極與收集極倒置的熱陰極電離規(guī)。收集極是一根細絲，放在柵網(wǎng)中心，燈絲放在柵網(wǎng)外面，因而減少軟X射線影響，延伸測量下限，可測超高真空。
4、水環(huán)真空泵
泵的葉輪轉子旋轉而產(chǎn)生水環(huán)。由于轉子偏心旋轉而使水環(huán)與葉片間容積發(fā)生周期性改變而進行抽氣的機械真空泵。
5、往復真空泵
利用活塞的往復運動而進行抽氣的機械真空泵。
6、油封機械真空泵
用油來保持密封的機械真空泵，可分為定片式、旋片式、滑閥式、余擺線式等。
7、羅茨真空泵
具有一對同步高速旋轉的鞋底形轉子的機械真空泵，此泵不可以單獨抽氣，前級需配油封、水環(huán)等可直排大氣的真空泵。
8、渦輪分子真空泵
有一高速旋轉的葉輪，當氣體分子與高速旋轉的渦輪葉片相碰撞時就被驅向出氣口再由前級泵抽除。
9、油擴散真空泵
擴散泵噴口中噴出高速蒸汽流。在分子流條件下，氣體分子不斷地向蒸流中擴散，并被蒸汽帶向泵出口處逐級被壓縮后再由前級泵排除。
10、低溫真空泵
利用20K以下的低溫表面凝聚吸附氣體的真空泵。
11、冷阱（水冷擋板）
置于真空容器和泵之間，用于吸附氣體或捕集油蒸汽的裝置。
12、真空冷凍干燥
真空冷凍干燥，也稱升華干燥。其原理是將材料冷凍，使其含有的水份變成冰塊，然后在真空下使冰升華而達到干燥目的。
13、真空蒸鍍
在真空環(huán)境中，將材料加熱并鍍到基片上稱為真空蒸鍍，或叫真空鍍膜。
14、真空干燥
利用真空環(huán)境下沸點低的特點來干燥物品的方法。