極高真空規(guī):雙彎注規(guī)的簡介
發(fā)布時間：2019-05-07 19:11:08 | 人感興趣 | 評分：3 | 收藏：
雙彎注規(guī)是管型電子倍增器電離規(guī)的一種，其規(guī)管靈敏度系數(shù)K= 1.5×10^18[(C／S①／(A．Pa)]，測量下限PR≤1×10^ -10Pa，預計可測10^ -12Pa的極高真空。雙彎注規(guī)的結(jié)構(gòu)原理如圖11-54所示。
離子在偏轉(zhuǎn)極V1的電場作用下，通過屏中心孔偏轉(zhuǎn)90°，然后通過第二個屏中心孔，進入第二偏轉(zhuǎn)極V2，再偏轉(zhuǎn)90°，打在CEM電子信增器的接收窗口，被CEM接收計數(shù)。由于離子流經(jīng)過兩級偏轉(zhuǎn)，X射線效應影響極小。
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