真空規:分離規短收集極規等概述
發布時間：2019-05-07 19:10:57 | 人感興趣 | 評分：3 | 收藏：
分離規（圖11-56）與抑制規不同之處是收集極為短的細金屬絲。增加了離子反射極，沒有抑制極，環形陰極是環繞柵極安裝的。陰極、屏和離子反射極的電壓都是200V，柵極電壓Vg= 305V，發射電流Ie=2mA，離子收集極通過靜電計接地，規管靈敏度系數K=0.98A/Pa，X射線效應引起的下限壓力Px約4×10^-11Pa。此規的主要特點是電子碰撞解吸效應很小。
短收集極規（圖11-57）和掩埋收集極規（圖11-58）的結構與分離規相似，性能也大同小異。
1966年文獻[156]推算短收集規的px約6.7×10 ^-11Pa，預計可測10^ -10 Pa的壓力。但1968年的文獻[157]報道．此規在壓力p<6.7×10^-8Pa時，已漸漸偏離線性。1972年資料[158]認為一般短收集極規（包括上述三種類型）的測量下限約為1Pa—5×10^ -9Pa。
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