動態(tài)流量法校準系統(tǒng)
發(fā)布時間：2019-05-07 19:10:18 | 人感興趣 | 評分：3 | 收藏：
已建成的動態(tài)流量法校準系統(tǒng)按結構分類有如下幾種類型：固定流導法(圖11-71、圖11-72)、可變流導法(圖11-73)及參考轉換器法（圖11-74）等。
所采用的上游參考標準有精密U形壓力計、壓縮式真空規(guī)、精密流量計、電容薄膜規(guī)、B-A規(guī)等。后兩種是相對規(guī)，要經過校準后才能用作參考標準。
標準流導U1可采用玻璃毛細管、金屬毛細管、多孔玻璃塞以及金屬微孔等。標準流導U2可采用玻璃圓孔或金屬圓孔。
1988年美國國家標準技術研究院(NIST)建立了動態(tài)流量法真空校準裝置，測量范圍為10^-1Pa—10^-7Pa，不確定度為1.4%～8.2%。開展了磁懸浮轉子規(guī)和熱陰極電離規(guī)的絕對校準工作。1992年德國物理技術研究院(PTB)也建立了動態(tài)流量法真空校準裝置，測量范圍為10^-2Pa—10^-6Pa，不確定度為1%～4%。進行了小孔流導法真空校準裝置和靜態(tài)膨脹法真空校準裝置的比對工作。圖11-75是動態(tài)流量法超高真空校準裝置原理圖，校準范圍為10^-7Pa—10^-2Pa，不確定度為3% (10^-2Pa～10^-6Pa)～10%(10^-7Pa)。
您看到此篇文章時的感受是：
