絕對(duì)真空規(guī)比對(duì)校準(zhǔn)系統(tǒng)
發(fā)布時(shí)間：2019-05-07 19:10:34 | 人感興趣 | 評(píng)分：3 | 收藏：
以絕對(duì)真空規(guī)為標(biāo)準(zhǔn)，將被校真空規(guī)與絕對(duì)真空規(guī)進(jìn)行直接比較的系統(tǒng)，稱為絕對(duì)真空規(guī)比對(duì)校準(zhǔn)系統(tǒng)。
絕對(duì)真空規(guī)除前面已分別介紹的精密U形壓力計(jì)、壓縮式真空規(guī)、磁懸轉(zhuǎn)子粘滯性規(guī)和克努曾規(guī)以外，還有活塞規(guī)、葉片規(guī)、布朗運(yùn)動(dòng)規(guī)等。目前只有精密U形壓力計(jì)和壓縮式真空規(guī)被一些國(guó)家列為標(biāo)準(zhǔn)。
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織(ISO)公布的草案（ISO/DIS5367，ISO/DIS5300）中，對(duì)設(shè)計(jì)比對(duì)校準(zhǔn)系統(tǒng)作了如下具體規(guī)定：
①校準(zhǔn)室的體積至少應(yīng)該是接在系統(tǒng)上的所有規(guī)管的總體積的20倍；
②校準(zhǔn)室形狀應(yīng)使它的表面積與體積之比盡可能小。故選用球形容器z*理想。如選用圓筒形容器，則要求筒長(zhǎng)與筒徑之比不大于4；
③規(guī)管連接管的形狀要保證使氣體分子進(jìn)入規(guī)的工作區(qū)域前，至少能與管壁碰撞一次；
④安裝在校準(zhǔn)室上的所有規(guī)管之間的壓力差和溫差不應(yīng)導(dǎo)致引進(jìn)明顯的測(cè)量誤差；
⑤規(guī)管連接管的流導(dǎo)至少應(yīng)為規(guī)管吸附速率（或解吸速率）的100倍；
⑥系統(tǒng)的極限壓力應(yīng)低于z*低校準(zhǔn)壓力的20%。
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