動(dòng)態(tài)流量法校準(zhǔn)系統(tǒng)的原理
發(fā)布時(shí)間：2019-05-07 19:10:29 | 人感興趣 | 評分：3 | 收藏：
圖11-70是動(dòng)態(tài)流量法校準(zhǔn)系統(tǒng)的原理圖。
根據(jù)氣流連續(xù)性方程，有
在穩(wěn)定平衡時(shí)
如果我們用絕對規(guī)測量pM，并據(jù)分子流理論，按結(jié)構(gòu)尺寸計(jì)算出(11- 52)就可計(jì)算出壓力p，于是就能對接于校準(zhǔn)室上的規(guī)管進(jìn)行校準(zhǔn)。
在氣流處于熱平衡的條件下，圓形短管的分子流流導(dǎo)公式為
式(11-56)說明分子流導(dǎo)之比僅是導(dǎo)管尺寸的函數(shù)，而與氣體成分無關(guān)。這一點(diǎn)使動(dòng)態(tài)流量法更具“絕對性”，也是此法的重要優(yōu)點(diǎn)之一。
從上述原理可知，動(dòng)態(tài)流量法是把大流量的氣流注入系統(tǒng)中，用串聯(lián)的流導(dǎo)建立起氣流動(dòng)態(tài)平衡的校準(zhǔn)方法。此法具有如下特點(diǎn)：
①吸附和解吸效應(yīng)的影響很小：
②在熱平衡的分子流狀態(tài)下，流導(dǎo)比僅是結(jié)構(gòu)尺寸的函數(shù)，而與氣體成分無關(guān)；
③校準(zhǔn)壓力下限可隨真空獲得水平的提高而延伸；
④結(jié)構(gòu)和工藝不很復(fù)雜。
目前，動(dòng)態(tài)流量法已廣泛用于高真空和超高真空校準(zhǔn)，并已成為z*主要方法，其校準(zhǔn)壓力的下限已延伸到10^-10Pa。
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