影響油擴(kuò)散泵性能的因素
發(fā)布時(shí)間：2019-05-07 22:58:14 | 人感興趣 | 評(píng)分：3 | 收藏：
1.擴(kuò)散泵油蒸氣的返流
擴(kuò)散泵油蒸氣的返流可歸結(jié)為五種原因(如圖4-31所示)：
①泵壁表面油膜和油滴的蒸發(fā)(如圖4-31①所示);
�、趪娮靽姵龅母咚儆驼魵饬髋龅奖帽诤蟮姆瓷�(如圖4-31②所示);
�、垡患�(jí)噴口表面的油膜及油滴的蒸發(fā)(如圖4-31③所示);
�、車娍谶吘壐咚儆驼魵饬鞯纳⑸�(如圖4-31④所示);
�、菔覝叵掠脱乇帽诘谋砻孢w移(爬移)(如圖4-31⑤所示)。
2.氣體分子的反擴(kuò)散
在擴(kuò)散泵中，低真空端的氣體分子總有一些會(huì)進(jìn)入到高真空端，特別是某些質(zhì)量較輕的氣體，如氫、氦、氘等反擴(kuò)散較大，其中氫的反擴(kuò)散z*大，可達(dá)10 ^- 3mg/h，氮的反擴(kuò)散較小，約為10^ -7mg/h。
3.擴(kuò)散泵油的裂化分解
擴(kuò)散泵油分為兩種：礦物油，此種油熱穩(wěn)定性及抗氧化能力都較差，在室溫下的飽和蒸氣壓為10^-5Pa～10^-7Pa。另一種是硅油，熱穩(wěn)定性及抗氧化性都較好，室溫下的飽和蒸氣壓力10^-6Pa～l0^- 8Pa。
在金屬油擴(kuò)散泵的鍋爐中，由于高溫、金屬催化作用以及油爆發(fā)式沸騰，使高分子的油裂化成低分子的碳?xì)浠衔锛拜p的氣體(H2、CH4、C2H6等)。這些裂化后的氫和碳?xì)浠衔锏恼魵鈮汉芨撸拗屏藬U(kuò)散泵的極限真空。
此外，機(jī)械泵油返流到擴(kuò)散泵中，也產(chǎn)生分裂物，使擴(kuò)散泵的真空度受到影響。
4.真空泵的清潔度
清洗不干凈的真空泵，污染物質(zhì)會(huì)留在泵內(nèi)并重復(fù)循環(huán)，影響泵的極限真空。
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