提高油擴(kuò)散泵極限真空的方法
發(fā)布時(shí)間：2019-05-07 22:57:47 | 人感興趣 | 評(píng)分：3 | 收藏：
1.擴(kuò)散泵結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上的改進(jìn)
改進(jìn)擴(kuò)散泵的結(jié)構(gòu)，如加分餾裝置;合理分配鍋爐加熱功率，增大鍋爐中心區(qū);改進(jìn)噴嘴角度設(shè)計(jì);在一級(jí)導(dǎo)流管中加裝加熱器進(jìn)行氣相加熱，以增加蒸氣流速度減少蒸氣流的散射。上述措施也以減少油的裂化、返流，提高擴(kuò)散泵的極限真空。
2.減少油蒸氣的返流
(1)加擋油帽
在級(jí)噴嘴上面，加水冷擋油帽，通�？墒狗涤土拷档桶雮�(gè)到二個(gè)數(shù)量級(jí)。
(2)障板
使用水冷或低溫介質(zhì)冷卻的各種擋板，可使返油量大大降低。
(3)冷阱
使用液氮冷阱捕集返流蒸氣。液氮冷阱不能全部把油蒸氣擋住，仍有少量的油蒸氣分子通過(guò)冷阱進(jìn)入被抽容器中，其途徑如圖4-32所示：
�、賰蓚�(gè)油分子之間的碰撞;②油分子和氣體分子的多次碰撞;⑧沒(méi)被捕獲的油分子反彈到高真空的區(qū)域中;④室溫下油從泵壁表面遷移。擴(kuò)散泵系統(tǒng)采用液氮冷阱后可獲得10-8Pa—l0-9Pa的極限真空。
(4)吸附阱
擴(kuò)散泵進(jìn)氣口安裝13X型分子篩或氧化鋁吸附阱吸附返流的油蒸氣后，可以獲得10^-8Pa—10 ^-9Pa的真空度。這種阱有如下點(diǎn)：①吸附劑易粉末化;②吸附劑要再活化;⑧需經(jīng)常更換吸附劑，操作不便。
(5)鈦升華阱
擴(kuò)散泵和真空室之間裝上用液氮冷卻的鈦升華阱，既可以消除有機(jī)物蒸氣對(duì)系統(tǒng)的污染，又能降低co、Co2和H2的分壓。表4-25表示了典型油擴(kuò)散泵系統(tǒng)加上冷凍鈦升華阱后，性能進(jìn)一步提高的情況。
(6)閥門(mén)
擴(kuò)散泵油的返流，在泵啟動(dòng)和停止后的一段時(shí)間內(nèi)有兩個(gè)z*大峰值(圖4-33)，泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)可利用閥門(mén)的關(guān)閉避開(kāi)這兩個(gè)z*大返油區(qū)。
3.減少氣體的反擴(kuò)散
反擴(kuò)散過(guò)去的氣體的分壓pf和擴(kuò)散泵前級(jí)排氣口處該氣體的分壓pj成正比，即pf=ypj。降低前級(jí)壓力pj和壓縮比y可以降低pj。
擴(kuò)散泵的前級(jí)再串接一臺(tái)擴(kuò)散泵可以降低前級(jí)氣體分壓pj。采用多級(jí)泵(目前多采用四級(jí)泵代替原來(lái)的三級(jí)泵)，則可以降低壓縮比y，使反擴(kuò)散減少。
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