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什么是羅茨式真空泵
發布時間:2019-05-07 22:54:52 | 人感興趣 | 評分:3 | 收藏:
  羅茨式真空泵(簡稱羅茨泵)是利用兩個8字形轉子在泵殼中旋轉而產生吸氣和排氣作用的。其原理和羅茨鼓風機相似。由于它在低壓力范圍內工作,氣體分子自由程較大,氣體漏過微小縫隙的阻力很大,因而能獲得較高的壓縮比,可以作為增壓真空泵使用。
  羅茨式真空泵根據泵體結構可分為兩類:一類為普通型,另一類為直排大氣型。二者區別除結構之外,主要是普通型羅茨泵不能單獨地把氣體直接排人大氣中去,需要和前級真空泵串聯使用,被抽氣體通過前級真空泵將氣體排到大氣中,其示意圖如圖3-55所示。而后者則可以。普通類泵又可分為一般型泵和帶旁通閥型泵兩種。這類泵已有系列標準及其產品。一般型泵的z*大允許壓差在2000Pa~10000Pa范圍,而帶旁通閥型泵的壓差僅限于2000Pa~4000Pa。當壓差超過每一規格泵的規定值時,旁通閥就會自動頂開,泵出口處的氣體經旁通閥返流入泵進口處,以使泵安全運行。普通型帶旁通閥的羅茨泵其結構示意圖如圖3-56所示。

  直排大氣型羅茨真空泵可分為氣冷式和水冷式兩種。獨特的結構使此種泵的z*大允許壓差可達88000Pa。氣冷式直排羅茨泵必須配置冷卻器和消聲器。因為被泵排出的氣體有很高的溫度,通過冷卻器冷卻后,少部分被冷卻了的氣體由管道返流到泵出口以冷卻泵,而大部分由冷卻器排出的氣體排人大氣或下一級泵。單臺泵若與油封式機械泵串接,則其工作結果與普通羅茨泵相同。直排大氣羅茨泵既可單臺使用,亦可多臺串聯使用,以滿足所需的工作壓力;同時還可以作普通羅茨泵機組中的中間泵或前級泵使用,以滿足不同壓力下的大抽氣量要求。對應不同的使用壓差,電機功率就有一個對應值。即是說氣冷式直排大氣羅茨泵的電機功率,隨使用壓差的不同而有不同,在組成抽氣機組中使用時,功率相對有一個固定值,并不像普通羅茨泵的電機功率只固定一個值(選用一種規格的電機)。氣冷式直排大氣羅茨泵有著廣泛的市場前景。
  根據羅茨泵工作壓力范圍不同,將它分為低真空的直排大氣干式羅茨泵和濕式真空泵、中真空羅茨泵(機械增壓泵)和高真空多級羅茨泵等。低真空的直排大氣干式羅茨泵,小泵極限壓力為2 x10^4Pa,大泵可達1x 10^4Pa,若兩臺串聯,可獲得極限壓力2×10^3Pa—3×10^3Pa。濕式羅茨泵可以吸入少量的水,但吸入量過大時,要在泵入口前設置分離器,將水分離后,再注入適量的水。這種泵直接向大氣中排放時,噪聲較大,故需加消聲器。中真空羅茨泵出口壓力在4×10^3Pa以下,吸入壓力在1×10^3Pa—10^-1Pa范圍,若出口壓力在10^3Pa,入口壓力在10^2Pa~1Pa范圍內使用,效率z*高。
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