蒸氣流真空泵抽氣速率的定義
發布時間：2019-05-07 22:54:19 | 人感興趣 | 評分：3 | 收藏：
本標準采用下列定義：
①抽氣速率(體積流率)。理論概念是指單位時間內通過標準測試罩流經泵入口截面的氣體體積，簡稱為抽速。其單位是L/s。實際計算泵按規定條件工作時，對給定氣體的抽氣速率S，是通過測試罩的氣體流率Q除以測試罩指定位置平衡壓力p所得之商確定：
S= Q/p
對蒸氣流泵來說，只有當p超過lOPa時，抽氣速率的計算才接近真實值。此處p是用相同的真空計測得的極限壓力。
�、跍y試罩。裝在泵人口處的具有規定的型式和尺寸的組件。試驗氣體通過罩進入泵內，其側壁裝有進氣微調閥和真空計規管。
�、蹣O限壓力。泵按規定條件工作，關閉進氣閥門，在測試罩內趨向穩定的z*低壓力。
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