油擴散泵臨界前級壓力的測定裝置
發布時間：2019-05-07 22:52:46 | 人感興趣 | 評分：3 | 收藏：
①測試罩如圖4-48所示，應符合JB/T 8472.1-96(2)中測試罩的規定。
②測試裝置的組成測試裝置如圖4-50所示，需要下列設備：
a.將氣體引入測試罩的進氣微調閥(A)與適宜的氣體流率測量儀相連接。
b.設于前級泵入口附近的進氣微調閥(B)，該閥(B)與規管(對應于C)之前相應前級管路長度應大于200mm。
c.用以測量前級管路壓力的真空計(C)的規管靠近蒸氣流泵出口。該規管裝于前級管路直的、內徑均勻的部位。前級管路內徑與蒸氣流泵出口內徑相等。規管接管應與該部位前級管路軸線垂直，接管管端與前級管路內表面平齊。
真空計(C)的規管的接管尺寸應保證其z*大流導。規管與前級管路之間的接管長度應不超過150mm。
d.測量測試罩壓力的真空計(D)的規管接管插入罩內的長度，不得超過連接管內徑d2的0.5倍。
測試過程中，真空計壓力讀數取兩位有效數字，并注明真空計種類。所用真空計必須經過國家計量部門承認的校準單位對干燥空氣進行校準。
當壓力高于或等于lPa時，其校準精度在±5%以內。壓力更低時，校準精度在±10%以內。
③試驗氣體除另有規定外，應使用干燥空氣。
注：一般采用硅膠使空氣干燥是適宜的。
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