油擴散泵臨界前級壓力的測定報告
發(fā)布時間：2019-05-07 22:51:46 | 人感興趣 | 評分：3 | 收藏：
在測試結(jié)果中，臨界前級壓力的單位是Pa，氣體流率的單位是Pa.L/s。除另有規(guī)定外，臨界前級壓力與氣體流率間的關(guān)系曲線應(yīng)在坐標圖中表示。(1)中的①所述以確定臨界前級壓力的泵口吸入壓力增高率，應(yīng)在圖中表示出來。
在高真空側(cè)壓力沒有突然升高的情況下，應(yīng)該提供氣體流率為零時，表示前級壓力與高真空間的關(guān)系曲線。
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