高真空下抽氣時(shí)間計(jì)算
發(fā)布時(shí)間:2019-05-07 22:35:43 | 人感興趣 | 評(píng)分:3 | 收藏:
在高真空領(lǐng)域內(nèi),真空設(shè)備內(nèi)材料的出氣可以忽略時(shí),真空室的抽氣時(shí)間計(jì)算域低真空抽氣
氣計(jì)算相同。由于高真空泵抽速較大,這段時(shí)間很短。實(shí)際上高真空的抽氣時(shí)間,主要取決于材料出氣。
在剛開(kāi)始抽氣的幾十小時(shí)內(nèi),材料出氣率是變量,因而真空室的總出氣量隨抽氣時(shí)間而衰減。計(jì)算到達(dá)某一壓力所需的時(shí)間由總出氣量和泵(或機(jī)組)的有效抽速的比值決定。一般可用查材料出氣率曲線和繪圖方法進(jìn)行計(jì)算。
例如計(jì)算抽到壓力p需要的抽氣時(shí)間步驟如下:
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