超高真空與高真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)
發(fā)布時(shí)間：2019-05-07 22:34:20 | 人感興趣 | 評(píng)分：3 | 收藏：
超高真空主要用于表面研究、熱核反應(yīng)、高能加速器、半導(dǎo)體研究、空間模擬等科學(xué)領(lǐng)域中。由于這些現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)發(fā)展的需要，大大促進(jìn)了超高真空技術(shù)的發(fā)展，目前超高真空實(shí)用真空度已達(dá)10 -12Pa。
現(xiàn)代超高真空技術(shù)與超高真空萌芽的20世紀(jì)50年代相比，有如下特點(diǎn)：
①真空裝置的容積大，有的達(dá)上千立方米，并且達(dá)到的真空度高。
�、跍y(cè)試手段復(fù)雜，除了測(cè)量真空度外，還包括質(zhì)譜分析，低能電子衍射，電子譜等。
③材料選擇上，用不銹鋼代替了玻璃;密封材料多半使用銅。
�、苡貌都秸婵毡�，如：低溫泵、各種鈦泵代替了油擴(kuò)散泵;用無(wú)油超高真空代替了有油超高真空。
超高真空與高真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)有不少相同之處，主要有：管路的流導(dǎo)計(jì)算;殼體強(qiáng)度計(jì)算;主泵抽速計(jì)算及泵之間匹配選擇;真空元件的清潔處理及檢漏等。
超高真空與高真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)也有許多不同之處：選擇真空泵的方法不同;對(duì)材料要求更為嚴(yán)格;密封結(jié)構(gòu)和密封材料不同;采用了烘烤措施;焊接結(jié)構(gòu)和方法不同;對(duì)漏率控制更為嚴(yán)格。
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