真空元件：前級(jí)預(yù)抽管道低溫吸附阱
發(fā)布時(shí)間：2019-05-07 22:29:02 | 人感興趣 | 評(píng)分：3 | 收藏：
預(yù)抽中，當(dāng)壓力降到粘滯一分子流狀態(tài)的壓力時(shí)（<10Pa數(shù)量級(jí)），機(jī)械泵油開始污染真空系統(tǒng)。壓力進(jìn)一步降低到分子流狀態(tài)的壓力時(shí)，機(jī)械泵油就以不變的流量Q=pU污染真空系統(tǒng)（p——一定溫度下機(jī)械泵油的飽和蒸氣壓；U-前級(jí)管道的流導(dǎo)）。設(shè)室溫下p= 10-2Pa，U= 10L/s，則Q=1×10-1Pa·L/S，此值相當(dāng)于每秒幾微克的油返流到真空系統(tǒng)。假設(shè)真空系統(tǒng)的面積1000cm2油將以0.1單分子層／S的速率淀積在表面上。為防止機(jī)械泵油的污染，通常采用的措施是：
①前級(jí)管道中加裝液氮冷阱、分子篩吸附阱、活性氧化鋁阱等來阻擋機(jī)械泵油蒸氣的返流；
②用純凈氮?dú)鉀_洗。機(jī)械泵抽到10Pa左右以后馬上關(guān)閉機(jī)械泵，啟動(dòng)分子篩低溫吸附泵預(yù)抽。
圖7-29為前級(jí)管道阱結(jié)構(gòu)；圖7-30為各種前級(jí)管道抽氣時(shí)間特性。圖7-31為兩種類型的氮?dú)饧兓鞯牧鞒虉D。
氮純化器操作程序：打開純化器A和B，啟動(dòng)機(jī)械泵預(yù)抽，控制流量使管道內(nèi)氣體狀態(tài)為粘滯流，容器和管道中吸附的二氧化碳和水蒸氣及其它污染物被干凈純化氮?dú)饬鲙ё摺＜兓胄r(shí)后，關(guān)閉純化器A，管道上低溫吸附阱中充入液氮，并關(guān)閉純化器B，抽到10Pa壓力后，關(guān)閉預(yù)抽機(jī)械泵，繼續(xù)用低溫吸附阱抽氣。
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