真空鍍膜：電阻式加熱蒸發(fā)源
發(fā)布時(shí)間：2019-05-07 21:38:16 | 人感興趣 | 評分：3 | 收藏：
真空鍍膜中，鍍膜機(jī)常用的蒸發(fā)源有電阻式加熱蒸發(fā)源、電子束式加熱蒸發(fā)源、空心熱陰極等離子束蒸發(fā)源、感應(yīng)式加熱蒸發(fā)源。
其中，電阻加熱式蒸發(fā)源實(shí)際上就是一個電阻加熱器，它是利用發(fā)熱體通電后，產(chǎn)生焦耳熱而獲得高溫，以此來熔融膜材使其達(dá)到蒸發(fā)的目的。由于這種源結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，成本低廉，材料易于獲得，因此，在鍍膜技術(shù)中得到了廣泛的應(yīng)用。
(1)絲狀源與舟狀源
用難熔金屬制成的絲狀或舟狀電阻源是目前應(yīng)用z*廣泛的一處蒸發(fā)源。其金屬絲、錐形筐和線圈可以是單股線的或多股線的。圖10-2為絲狀源簡圖，圖10-3為舟狀源簡圖。
目前用于電阻加熱式熱源的材料有W、Ta、Mo、Nb等高融點(diǎn)金屬，有時(shí)也用Fe、Ni、Ni-Cr合金等，其中z*常用的是鉬片和鎢絲。
(2)鋁蒸發(fā)用坩堝加熱器。在真空鍍膜技術(shù)中，蒸友鋁材占有重要的地位。在電子工業(yè)，光學(xué)零件特別是輕工業(yè)中蒸鍍鋁膜是非常普遍的。
①石墨坩堝加熱器。一般認(rèn)為，連續(xù)式蒸發(fā)設(shè)備所使用的蒸發(fā)源應(yīng)具備的性能是：蒸發(fā)效率應(yīng)足夠高；使用壽命應(yīng)足夠長；坩堝與蒸發(fā)材料不發(fā)生反應(yīng)；能長時(shí)間穩(wěn)定地蒸發(fā)并能自動補(bǔ)充蒸發(fā)材料。根據(jù)這些要求，目前所采用的加熱方式有電阻加熱、高頻加熱和電子束加熱。在大多數(shù)鍍鋁設(shè)備中，采用z*多的還是直接通電的電阻加熱蒸發(fā)源。蒸發(fā)源所用的坩堝材料一般為難熔金屬(如W、Mo、Ta)和石墨。前者多用于間歇式蒸發(fā)設(shè)備中，后者多用于連續(xù)式蒸發(fā)設(shè)備中。
②氮化硼合成導(dǎo)電陶瓷加熱器。為了獲得比石墨更加理想的蒸發(fā)器材料，在真空鍍膜設(shè)備中，廣泛采用了一種新的蒸發(fā)器，即氮化硼合成導(dǎo)電陶瓷加熱器。這種加熱器是由耐腐蝕、耐熱性能優(yōu)良的氧化物、硼化物等材料通過熱壓、涂敷而成的一種具有導(dǎo)電性的陶瓷材料。
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