真空鍍膜：感應加熱式蒸發源
發布時間：2019-05-07 21:38:00 | 人感興趣 | 評分：3 | 收藏：
(1)感應加熱式蒸發源的工作原理及特點
將裝有膜材的坩堝放在螺旋線圈的中央（不接觸），在線圈中通以高頻電流，膜材在高頻電磁場感應下產生強大的渦流，致使膜材升溫，直至蒸發，膜材體積越小，所需頻率越高，每塊僅有幾毫克重的材料應采用幾兆赫頻率的電源頻率，感應線圈常用銅管制成并通以冷卻水。為了使膜層均勻，各坩堝線圈功率均可單獨調節。
這種蒸發源的特點是：
①蒸發速率大。在鋁淀積厚度為40nm時，卷繞速度可達270m/min，比電阻熱源大10倍左右。
②蒸發源溫度均勻穩定，不易產生鋁滴飛濺現象。可避免鋁滴淀積在薄膜上產生針孔現象。所以采用感應加熱方法生產金銀絲的成品率亦相應提高。
③蒸發源一次裝料，無需送絲機構，溫度控制比較容易，操作比較簡單。
④對膜材純度要求低。一般真空感應加熱用99.9%純度的鋁，而電阻加熱要求鋁的純度為99.99%。所以生產成本亦可降低。
(2)感應加熱式蒸發源的結構
日本真空株式會社( ULVAC)生產的EW系列卷繞式高真空鍍膜機中用的感應加熱式蒸發源結構，如圖10-8所示。電源為高頻發電機組，電壓450V，頻率為9727Hz。該系列坩堝共有四個品種，其標準尺寸見表10-1。
內徑坩堝的裝料是1000g，坩堝使用壽命平均達18次～20次。為了延長坩堝使用壽命，在次裝鋁料時，應加入4%的鈦，以后可適當減少，其目的是在坩堝的內表面形成一層TiC，以防止鋁直接與坩堝發生反應。
除上述各種蒸鍍方法外，其它蒸鍍方法及其實用性見表10-2。
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