真空鍍膜：CVD的反應(yīng)方式
發(fā)布時(shí)間：2019-05-07 21:33:22 | 人感興趣 | 評分：3 | 收藏：
CVD方法采用不同的反應(yīng)方式可以制備出單質(zhì)、化合物、氧化物和氮化物等各類薄膜。早期精制金屬時(shí)，采用氫還原及化學(xué)輸送反應(yīng)。現(xiàn)在廣泛使用的反應(yīng)方式有加熱分解、氧化、等離子體激發(fā)、光激發(fā)等。各種反應(yīng)方式及生成物見表10-18。
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