獨立束源快速換片型分子束外延設備
發布時間：2019-05-07 21:30:58 | 人感興趣 | 評分：3 | 收藏：
該設備主要是由清潔的全無油超高真空系統，外延生長和控制系統及監測分析儀器等部分組成。其結構簡圖如圖10-36所示。
設備的真空室是由直徑為450mm，不銹鋼材料制成的圓筒，其周圍需開大小不同的20余個法蘭，用以配置各種表面分析儀器、樣品架、樣品傳遞結構、分子束源及觀察窗等等。為了充分發揮升華泵的抽速，升華泵的直徑與真空室直徑相一致，選用法蘭連接。便于真空室布局，該設備采用臥式布局，因而要使真空室和升華泵的法蘭準確地對中相接，故采用將真空室和超高真空機組分成二個獨立的支架，然后用軌道使這兩部分準確地對中，保證密封可靠，節省了真空室開啟時的起重設備。
獨立束源快速換片型分子束外延設備本身具有兩個特點。s*先是分子束源，它由六個獨立分子束爐組成，裝在160mm直徑的法蘭上，每個爐子具有獨立的快門連同加熱引線，測溫熱電偶等集中裝在一個小法蘭上，因而每個爐子可容易地獨立取換，互不影響。其次是具有一個獨立的樣品傳遞結構，可快速地取換樣品，提高了工效。
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