離子束刻蝕結(jié)構(gòu)特點(diǎn)—工件臺(tái)
發(fā)布時(shí)間：2019-05-07 21:30:02 | 人感興趣 | 評(píng)分：3 | 收藏：
工件臺(tái)是裝卡刻蝕工件用的。由于被刻蝕的工件種類(lèi)和要求不同，所以工件臺(tái)的種類(lèi)亦不同。一般為平移和旋轉(zhuǎn)兩種工件臺(tái)；按水冷方式又分為直接水冷和間接水冷兩種。
圖10-40給出了一維平移工件臺(tái)結(jié)構(gòu)原理圖；圖10-41給出了旋轉(zhuǎn)、平移、傾斜的三維工件臺(tái)結(jié)構(gòu)原理圖。
平移工件臺(tái)采用步進(jìn)電機(jī)直聯(lián)絲桿傳動(dòng)結(jié)構(gòu)。90BF006型步進(jìn)電機(jī)通過(guò)威爾遜高真空轉(zhuǎn)動(dòng)密封機(jī)構(gòu)與絲桿直聯(lián)、絲桿再轉(zhuǎn)動(dòng)固定在工件臺(tái)底部的螺母使工件臺(tái)平移；絲桿和螺母的螺距為1mm；工件臺(tái)z*大行程為150mm，并由裝在兩端的行程開(kāi)關(guān)加以限位；工件臺(tái)要求定位精度為5μm，它主要依靠絲桿和螺母的（有松緊調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)）加工精度來(lái)保證。滑潤(rùn)油用DC-274擴(kuò)散泵油，工件臺(tái)內(nèi)部銑成蛇形槽直接通水冷卻，降低了工件溫度，防止晶片受熱碎裂和光刻膠焦化。工件臺(tái)的前面還備有可拆卸的光闌裝架。
三維直接水冷旋轉(zhuǎn)工件臺(tái)由SY-5力矩電機(jī)、工件臺(tái)、蝸輪蝸桿傾斜機(jī)構(gòu)、絲桿驅(qū)動(dòng)平移機(jī)構(gòu)等組成。直接水冷工件臺(tái)直徑為100mm，旋轉(zhuǎn)由力矩電機(jī)通過(guò)齒輪來(lái)實(shí)現(xiàn)。轉(zhuǎn)速?gòu)?r/min～30r/min連續(xù)可調(diào)，正反均可；傾斜角度，與束垂直的水平方位是0°±90°，是通過(guò)蝸輪蝸桿實(shí)現(xiàn)的；平移距離150mm，是通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)絲桿實(shí)現(xiàn)的；直接水冷是通過(guò)空心的軸和碗形橡膠密封圈實(shí)現(xiàn)的。這種直接水冷轉(zhuǎn)動(dòng)工件臺(tái)z*大的優(yōu)點(diǎn)是在刻蝕的過(guò)程中，在真空條件下，通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)手輪可以改變距離和傾斜角度。直接水冷降低了工件臺(tái)靶面的溫度，可以提高器件的加工刻蝕質(zhì)量。
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