離子束刻蝕結構特點—快門
發布時間：2019-05-07 21:29:56 | 人感興趣 | 評分：3 | 收藏：
快門是用來隔斷離子束通向工件臺的通路的，目的是便于在刻蝕前檢測束流密度和束的中和情況。從放電開始引出束流到束流穩定往往需要幾分鐘的時間。在離子束穩定后才打開門進行刻蝕并同步計時，故刻蝕的時間可以用開關快門來控制。快門有手動、電動兩種，操作要簡單可靠、無故障。圖10 - 42給出了手電兩用四桿聯動單葉快門結構示意圖。
手電兩用四桿聯動的單葉快門，它的10mm的單葉片固定在空心連桿上。連桿與傳動軸相連，傳動軸通過高真空威爾遜密封跟位于真窒室外的連軸、滑桿相連。滑桿在電磁線圈內套里，通過改變電磁線圈中的電流方向，使滑桿左右移動，從而帶動連軸、傳動軸、固定聯桿聯動、單葉片擺動，使快門打開或關閉。電磁鐵可使滑桿移動距離為40mm。電磁鐵線圈絲徑0 .44mm，共2800匝(電阻20歐)；威爾遜密封的潤滑油用DC-274擴散泵油。
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