離子束刻蝕:計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)
發(fā)布時(shí)間：2019-05-07 21:29:00 | 人感興趣 | 評(píng)分：3 | 收藏：
實(shí)現(xiàn)工作一維深度加權(quán)刻蝕的離子束刻蝕設(shè)備，要用計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)。深度加權(quán)的刻蝕深度按照預(yù)先給定的曲線分布進(jìn)行，由于離子束的強(qiáng)度是恒定的，離子源的位置也是固定的，而工件臺(tái)相對(duì)于離子源作一維平移，所以控制工件的刻蝕深度即轉(zhuǎn)化為控制工件在各個(gè)不同位置的刻蝕時(shí)間。
計(jì)算機(jī)TRS-80先按給定的數(shù)據(jù)模型計(jì)算出對(duì)應(yīng)于工件每個(gè)位置所需的刻蝕時(shí)間，并存入內(nèi)存；然后控制步進(jìn)電機(jī)使工件臺(tái)作一維方向的平移，每移動(dòng)一定的距離，停留某一預(yù)定時(shí)間。
在刻蝕過(guò)程中，用計(jì)算機(jī)控制，主要實(shí)現(xiàn)以下幾個(gè)功能：①控制刻蝕時(shí)間；②控制工件臺(tái)平移；③控制快門(mén)開(kāi)、關(guān)；④巡檢束流。當(dāng)配電系統(tǒng)的各種故障引起束流不正常時(shí)，希望保留現(xiàn)場(chǎng)，計(jì)算機(jī)處于暫停狀態(tài)，待故障排除后繼續(xù)進(jìn)行刻蝕；⑤控制步進(jìn)電機(jī)能正、反轉(zhuǎn)進(jìn)行雙向刻蝕。
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