真空電爐是20世紀50年代發展起來的一種金屬冶煉設備，主要用于新型材料生產。臺真空感應電爐誕生于1954年，從此之后相繼研制成功了真空電阻爐、真空電子束爐、真空電弧爐。我國于1960年研制出真空自耗爐，并用于工業生產，使金屬鈦冶煉得到了很大的發展。1962年生產出工業生產用的真空感應爐，1964年研制出真空電子束爐，1973年制造出臺真空熱處理爐并用于工業生產。
真空電爐根據加熱方式不同分為真空電阻爐、真空電子束爐、真空電弧爐、真空感應爐，真空電阻爐是利用電阻加熱工件或材料的爐子，即在真空條件下，加熱器通電產生的電阻熱通過輻射加熱工件或材料。
真空電子束爐是利用電子槍發射出高速電子打到熔煉材料上，將電能轉換成熱能，使材料熔化。
真空電弧爐是利用弧光放電產生的電弧熱熔煉材料。將自耗電極(被熔煉材料)接負極，坩堝接正級，通電時兩極間產生弧光放電，正離子打在陰極上(材料)，電子打在陽極上(坩堝)，將電能轉變成熱能，使材料熔化。
真空感應爐是將物料放入具有線圈的坩堝中，當線圈通入交變電流時，產生交變磁場，在物料表面產生感應電流，感應電流產生的電阻熱，將物料熔化或加熱。