D30型輝光離子氮化爐結構
發布時間：2019-05-07 21:20:45 | 人感興趣 | 評分：3 | 收藏：
圖10-121是離子氮化爐的示意圖。
整個裝置由供氨系統、真空系統、測量系統、供電系統四部分組成。
①供氨系統。氨氣瓶1內盛有液態氨。工作時將氨氣閥門2打開，經穩壓進入LZB -6型浮子式流量計3。根據真空室要求氨氣壓力大小，調節流量計閥門4控制氨的流量。氨氣經過氨氣管路進入真空室內。
要求供氨系統氣源壓力穩定，進氣閥調節靈活。
�、谡婵障到y。真空系統包括真空室（輝光室），由真空泵21、放氣閥18、真空蝶閥19、電磁閥20、排氣管等部分組成。真空室采用雙層水冷結構。在真空罩和爐基之間用橡膠墊密封。工作時啟動真空泵(2X-15型)將真空室抽到要求的真空度，廢氣從排廢氣管排出。
�、蹨y量系統。包括測量溫度、測量壓力和測量電流電壓部分。通過它們能反映出氮化處理情況。溫度測量用熱電偶16，把它插入陰極底盤部，通過連接導線或者熱電偶補償導線接到XCT - 101調節式毫伏計上，來實現對工件溫度的測量。當壓力低于1.3×102Pa時，由熱偶規通過熱偶真空計14測量；當壓力在1.3×102Pa~1.3×103Pa時，由U型管水銀壓力計進行測量。
�、芄╇娤到y。供電系統即電源部分。它由三相變壓器、整流器、電感、電容、振蕩滅弧等部分組成，輸入電壓為交流380V，輸出為高壓直流脈動電流，z*大輸出電壓為1000V，z*大輸出電流為30A。
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