利用比較容易凝固的氣體冷凍成霜層，在低溫下把冷凍的氣體抽去的泵叫深冷霜吸附泵。若固化層很慢地生長(zhǎng)，可以得到一個(gè)微孔表面，Yuferor和Kobzegv已經(jīng)在2K—4.2K下用CH4、N2、02、Xe、Kr、A、C02
村上利用催化反應(yīng)的原理，提出把殘余氣體中的氫、氧化成水蒸氣再予以排除。排除氫的泵是由一個(gè)冷到液氮溫度下的阱和反應(yīng)器組成。在反應(yīng)容器中高溫的錸絲和釔絲上的H2解離成原子態(tài)氫，和氧化亞銅表面作用生成水蒸氣。水蒸氣由液氮阱捕獲，使H的分壓變得很低。對(duì)H2的抽速是和絲的表面積、H2的解離概率以及原子態(tài)氫和氧化亞銅的反應(yīng)概率的乘積成比例。當(dāng)然這種泵必須和其它泵(如擴(kuò)散泵、濺射離子泵、冷凍泵等)組合使用。用化學(xué)催化機(jī)理制做吸氣泵是應(yīng)該注意的方向，特別是在極高真空范圍更有現(xiàn)實(shí)意義。村上提出的催化泵結(jié)構(gòu)如圖16-18所示。有人提出了一個(gè)5000L/s酌催化泵的設(shè)計(jì)方案。它的缺點(diǎn)是高溫?zé)艚z的存在限制了極限壓力的降低。抽速也不易做得很大。