油擴散泵系統(tǒng)獲得極高真空時，氣體質(zhì)譜分析的實驗系統(tǒng)如圖16-19所示。液氮阱以上的部件由不銹鋼制成，金絲密封。冷阱下法蘭以下用丁腈橡膠密封。擴散泵泵體為碳鋼，使用275硅油，機械泵使用泵油。四極質(zhì)譜計為Balzers產(chǎn)QMG-101型�？倝毫τ葿-A規(guī)管讀取。
