測量鈦鉬和鈦鋯絲蒸發參數：實驗結果
發布時間：2019-05-07 19:21:01 | 人感興趣 | 評分：3 | 收藏：
實驗中系統未烘烤，吸氣面水冷(12℃)或液氮冷卻，水冷時冷阱不加液氮。升華鈦后，系統壓力小于5.33×10^-6Pa，如液氮冷卻吸氣面時，壓力進入10^-7Pao
①出氣成分是新燈絲900℃去氣時用四極質譜計分析的。從表16-14中（已扣除本底成分）可見，主要是Hz、甲烷、CO等。鈦鋯絲的氫出氣量要比鈦鉬絲大（這可能與生產工藝有關）。900℃下去氣40min基本徹底。
②吸附容量是在燈絲徹底去氣后關擴散泵閥，然后恒電壓蒸發5min(膜厚28nm左右)，恒流充入被測氣體，記錄測量罩中的壓力隨時間的變化，由抽氣曲線（圖16-45）計算吸附容量（表16-15）。實驗時起始壓力1Pa～6.6×10^ -5Pa(液氮冷卻)，水冷時為1Pa～6.6×10^-4Pa。
③粘著系數是在擴散泵隔離打開和關閉，燈絲連續蒸發和間斷蒸發等四種情況下，分別測定膜面為12℃和78K下對N2和H2的粘著系數。在鈦絲充分去氣并扣除開閥時擴散泵抽速后，四種情況下起始粘著系數相差不大。故取其平均值與國外的數據相近。測量中出現N2、H2的抽速比泵口的流導還大，這可能是束流效應的影響。
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