①計算機控制系統配置方案：
a.成套微型計算機系統。此方案配置方便，但是價格較貴。當采用此方案時，要考慮微型計算機的機型、內存、外圍設備及軟件的選用。
b.工業控制機。此方案方便、靈潔，可根據被控真空裝置及工藝的控制要求，購置適當的模塊，構成控制系統。當采用此方案時，要求考慮工業控制機的系列類型、功能模塊、外圍設備及軟件的選用。
c.自己設計制造微機系統。根據需要購置中央處理單元、存儲器(ROM、RAM)和接口器，件，自己設計制造專用的微機控制系統。此方案實用性強、價格低，但是，它要求一定的保障條件。
d.利用單片機及其擴展系統。
②計算機控制系統方案選擇：
大型真空裝置由于控制要求高，故選用的微機要容量大、功能全、軟件豐富，此時可選成套微機系統或工業控制機。一般的真空裝置，由于其結構簡單，控制系統不復雜，根據具體情況可選用工業控制機、單片機擴展或自行設計制造
微機系統。對于批量生產的真空裝置的微機控制系統，z*好是根據需要，自行設計制造微機系統。對于真空儀器智能化，z*好采用單片機去實現。
③計算機控制系統的設計原則：
a.根據被控真空裝置的控制要求，以及模擬量輸入、輸出參數，開關量控制點數等基本條件，選擇合適的控制方案、微機機型及各項技術參數。
b.確定計算機與真空裝置上其它常規儀器、設備(如真空計、壓力控制儀、信號保護裝置、控制裝置等)的關系。原則上上述常規儀器應在計算機的統一揩揮下工作，這樣可以充分利用常規儀器的作用，以便z*有效地發揮計算機的功能與特長。
c.合理選用人一機聯系設備如鍵盤、顯示器、打印機等。
d.做好計算機的施工方案，使計算機有一個良好的工作條件。