①數字程序控制。這是z*簡單的一種計算機控制，可以按照預定的時間順序或邏輯順序對真空裝置或真空工藝進行控制。
②直接數字控制DDC( Direct Digital Control)。在這種控制方式中，計算機取代模擬調節器(如壓力控制儀)，根據給定值和輸出量，直接對被控真空工藝過程進行數字控制。其控制規律不是由PID電路實現，而是由數字PID去完成。由于控制規律是由數字計算完成，故利用計算機快速運算的功能，可完成更復雜的運算，從而可實現z*優控制、自適應控制等。
③計算機監督控制SCC(Supervisory Computer Control)。在多級計算機控制系統中，級是DDC作用于被控真空工藝過程，其給定值由上一級計算機提供，則上一級計算機便為監督控制級。若級不是DDC而是常規的模擬控制系統(如壓力控制儀控制系統)，第二級也稱為監督控制級。
④分布控制。一個大型真空裝置由許多分散又獨立的子系統構成，若用一臺計算機對真空裝置進行集中的監督和控制，必然降低了控制系統的可靠性，通常是每個子系統配用一臺微型計算機，進行分散控制，只有少量的必要信息被送到上位機(即上一級計算機)，從而提高了控制系統的可靠性。