真空規(guī)：波紋管規(guī)的概述
發(fā)布時(shí)間：2019-05-07 19:13:02 | 人感興趣 | 評(píng)分：3 | 收藏：
此規(guī)的波紋管一端封死，另一端與被測(cè)系統(tǒng)相連，當(dāng)管中壓力變化時(shí)，波紋管內(nèi)外的壓力差產(chǎn)生變化，使得波紋管隨之伸縮，規(guī)的靈敏度與波紋管的壁厚和形狀有關(guān)。波紋管材料的彈性系數(shù)隨溫度變化而變化是此規(guī)的主要誤差源。
圖11-14是用光學(xué)方法檢測(cè)波紋管變形的波紋管規(guī)，其測(cè)量下限可達(dá)10^-2Pa。
圖11-15是一種用玻璃制作的波紋管規(guī)。當(dāng)波紋管伸縮變化時(shí)，毛細(xì)管中的水銀位置也隨之變化。此種結(jié)構(gòu)可提高儀器靈敏度，當(dāng)壓力從較高真空度變到大氣壓時(shí)，水銀位移可達(dá)600mm。此規(guī)的缺點(diǎn)是對(duì)溫度變化太敏感，并要求恒溫。
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