①熱解吸。熱陰極電離規的高溫陰極本身就是一種氣源，它的高溫熱量輻射到其它電極和規壁上，將引起氣體的熱解吸。此外，柵極接受電子、收集極接受離子時，也會因發熱而導致氣體的熱解吸。為了消除熱解吸對測量的影響，要預先對規各電極和規壁進行充分除氣。可以采用烘箱烘烤、電子轟擊、歐姆加熱、高頻加熱等方法來除氣。尤其是在超高真空環境中使用熱陰極規時，必須采用嚴格的除氣規程。
②電解吸。由于電子收集極上存在氣體吸附層，當電子打在其表面時會使吸附層的氣體解吸，或先在表面將氣體電離后再以離子形式解吸出來，這就是所謂的電于碰撞解吸(ED)效應，它是熱陰極電離規的一個重要的下限因素。
③光解吸。光解吸指的是固體表面受光輻照時，表面上的分子解吸和分解現象。在超高真空測量中，需要注意此現象。光解吸截面與光的波長有關(圖11-77，圖11-78)。
由于在高能加速器和受控聚變反應器中存在著強烈的輻射，所以這種真空裝置中的光解吸問題更為嚴重。