通常，指標(biāo)高于10^-9Pa的四極質(zhì)譜計(jì)的z*小可檢分壓力測(cè)試方法按下述步驟進(jìn)行：
①將測(cè)試系統(tǒng)抽至極限壓力后，向測(cè)試系統(tǒng)充入氖氣，使電離計(jì)指示壓力高于極限壓力(1～2)倍。記錄氖分子離子峰20u的離子流Il和電離計(jì)的指示壓力P1。
②調(diào)節(jié)進(jìn)樣閥，使電離計(jì)指示壓力增高l倍～10倍(但不允許高于2×10^-4Pa)，記錄20u的離子流I2和電離計(jì)的指示壓力P20
③計(jì)算
式中 S (Ne)-儀器對(duì)氖的靈敏度[A/Pa];
βNe——電離計(jì)對(duì)氖的相對(duì)靈敏度;
0.909-氖20同位素的相對(duì)豐度。
③在z*慢的掃描速度、z*靈敏的靜電計(jì)量程并保證峰高下降不超過(guò)10%的響應(yīng)時(shí)間的條件下，記錄氖21同位素峰高H21(rrun);
④手動(dòng)調(diào)節(jié)到氖21和氖22兩個(gè)同位素峰之間的谷上;
⑤關(guān)閉進(jìn)樣閥，使測(cè)試系統(tǒng)壓力恢復(fù)到極限壓力，記錄壓力PO;
⑥記錄儀器輸出N (mm)，時(shí)間為Smin。按每分鐘一段分五段，測(cè)量每段噪聲的峰一峰值，五個(gè)峰一峰值的平均值為噪聲;
⑦計(jì)算
式中的0.00257為氖21同位素相對(duì)豐度。
對(duì)于z*小可檢分壓力小于10^-9Pa的儀器，該技術(shù)指標(biāo)測(cè)試可利用氦在空氣中的體積分?jǐn)?shù)為5.2×10^-6的關(guān)系，測(cè)量空氣樣晶中氦，參考上述方法進(jìn)行。