1.質(zhì)譜儀
由分析場將離子束分離成不同質(zhì)荷比的組分，并在整個立體角上同時記錄各種質(zhì)荷比離子的儀器。
2.質(zhì)譜計
借助于改變分析場的工作參數(shù)來記錄質(zhì)譜的儀器，即，質(zhì)譜的記錄利用了時間因素。此外，這類儀器的質(zhì)譜記錄都利用了電子學方法。
3.靜態(tài)質(zhì)譜計
儀器分析場的工作參數(shù)(電場、磁場和離子偏轉(zhuǎn)半徑)在質(zhì)量分離過程中不隨時間改變。隨時間改變工作參數(shù)只是為了連續(xù)記錄質(zhì)譜，而不是質(zhì)量分離所必須。
4.動態(tài)質(zhì)譜計
質(zhì)譜計的分析場在質(zhì)量分離過程中利用了時間因素，即，分析場一個或幾個工作參數(shù)(電場、電場頻率和磁場)是隨時間而變化的。
5.質(zhì)譜
表征質(zhì)譜計中由樣品所盧生的離子種類和相對量的任何一種顯示，如，筆錄式記錄儀圖形、示波器圖形等。
6.峰(質(zhì)量峰，質(zhì)譜峰)
質(zhì)譜中，某種質(zhì)荷比離子的輸出信號圖形。因為這種離子流圖形是由某種質(zhì)荷比的離子所產(chǎn)生的，因此也稱之為質(zhì)量峰。例如“質(zhì)量28的峰”。
7.碎片圖形(離子譜)
質(zhì)譜計在一定工作條件下，由給定的樣品所產(chǎn)生的離子特征圖形(即離子種類和它們的相對量)。
8.圖形系數(shù)
表征碎片圖形(離子譜)中，各種質(zhì)荷比的離子的相對豐度系數(shù)。它定義為圖形系數(shù)(詈)i=尋蠢xioo% c他一71，式中H(m幾)b為基準峰的質(zhì)荷比。圖形系數(shù)為100的峰稱基準峰。
9.母峰
未分解的的分子態(tài)離子的峰。但母峰不一定是碎片圖形中的基準峰。
10.碎片峰
伴隨分子電離而分解成碎片離子的峰。
11.同位素峰
通常，同位素是天然存在的，為了區(qū)別于碎片峰，稱之為同位素峰。當然，碎片離子峰也存在同位素峰。
12.重排峰
碎片離子與別的原子或分子等重新排列結(jié)合成的峰。
13.雙電荷峰
因離子源的電子能量高于樣品的電離電位，原子或分子在電離過程中可能失去兩個電子，這種離子的峰稱雙電荷峰。在通常的電子能量下，三電荷峰是極小的。
14.亞穩(wěn)態(tài)峰
亞穩(wěn)態(tài)離子所形成的峰。
15.掃描參數(shù)
表征質(zhì)譜計分析器的電場或磁場的參數(shù)(電壓、頻率和磁感應(yīng)強度等)。這種參數(shù)的變化可以使離子檢測器接受到不同質(zhì)荷比的離子。
16。掃描
改變掃描參數(shù)的過程。它使質(zhì)譜計在整個工作質(zhì)量范圍或部分質(zhì)量范圍內(nèi)獲得一個質(zhì)譜。
17.質(zhì)量數(shù)
z*接近離子質(zhì)量的整數(shù)，用[u]表示，也可用原子量或分子量來表示。例如，氖的一種同位素的原子質(zhì)量為19.9987[u]，稱它的質(zhì)量數(shù)為20。另一種表達法為，質(zhì)量數(shù)是原子核內(nèi)質(zhì)子和中子數(shù)的總和。
18.質(zhì)量范圍(工作質(zhì)量范圍)
質(zhì)譜計能進行有效分析的整個質(zhì)量范圍，用檢測z*小和z*大的單電荷離子之間的質(zhì)量范圍來表示。
19.質(zhì)量歧視效應(yīng)
對于具有相同壓力的不同質(zhì)量氣體組分，質(zhì)譜計給出不同的輸出指示的特性。它是由離子源、分析器和離子檢測器(如電子倍增器)的性能造成的。在分壓力校準中，通常只能測量質(zhì)譜計全面的歧視效應(yīng)，所以在實測的歧視效應(yīng)中還包括電離截面效應(yīng)。
20.峰寬
質(zhì)譜中峰底部的寬度。峰底被定義為峰的兩個側(cè)邊和參考基線的交點或切點間的長度。單位為[u]。
21.零輸出基線
原則上講，它是質(zhì)譜中的一條直線，它是質(zhì)譜計在沒有檢測到離子時的輸出線。實際上是一條與許多被完全分辨的峰底相切的直線。在完全分辨的情況下，這些峰的原子質(zhì)量和相鄰峰的原子質(zhì)量差別很大，因而這些峰不受鄰峰的影響。
22.峰距
平行于質(zhì)量數(shù)坐標的兩個峰頂之間的距離。單位為[u]。
23.峰高
零輸出基線到峰頂之間的距離。高度單位可任意選擇。
24.谷(峰谷)
高于零輸出基線的兩個相鄰峰側(cè)邊的連接部分。谷的高度為，從零輸出基線到谷z*低點間的距離，用和峰相同的單位來度量。
25.分辨本領(lǐng)的一般定義
質(zhì)譜計分離不同荷質(zhì)比離子產(chǎn)生峰的能力。
26.絕對分辨
在質(zhì)量數(shù)M處，分離不同荷質(zhì)比的能力，用質(zhì)量數(shù)M處峰寬AM表示。
27.分辨本領(lǐng)(分辨能力)
在質(zhì)量數(shù)M處，質(zhì)量數(shù)M和對該峰某高度處的峰寬AM之比。
28.單位質(zhì)量分辨
在質(zhì)量數(shù)M處，質(zhì)量數(shù)對應(yīng)該峰某高庋處的峰寬AM -1u。
29.參考基線
根據(jù)對分辨本領(lǐng)的不同定義，在零輸出基線上方，峰高的50%、10%或5%等處所作的平行于零輸出基線的直線。
30.質(zhì)量標度(質(zhì)標)
表征質(zhì)量數(shù)的坐標(通常為橫坐標)。不同原理的質(zhì)譜計，掃描參數(shù)與質(zhì)量數(shù)的關(guān)系有的呈線性關(guān)系，有的呈非線性關(guān)系。計算分辨時，必須將橫坐標換算成線性質(zhì)量標度。
31.克分子分數(shù)
氣體混合物中，某種組分的原子或分子數(shù)與總原子或分子數(shù)之比。對于理想氣體，克分子分數(shù)和按其體積計算的分數(shù)相同。
32.分壓力
氣體混合物中，給定組分的分壓力為氣體混合物的全壓力和該種組分的克分子分數(shù)的乘積。
33.分壓力靈敏度(靈敏度)
質(zhì)譜計的分壓力靈敏度為輸出離子流的變化量除以引起這種變化的氣體分壓力的變化量。如不計其發(fā)射電子流的數(shù)值，其單位為A/Pa。
34.z*小可檢濃度(z*小可檢體積分數(shù)或壓力分數(shù))
儀器對氣體混合物中能檢測到的某一組分體積分數(shù)或壓力分數(shù)的z*小值。
35.z*小可檢分壓力
質(zhì)譜計可檢測到的z*小分壓力，它等效于檢測一個兩倍噪聲數(shù)值的輸出。
36.噪聲
由虛假的輸出指示所引起的零輸出基線的快變化過程。