大多數(shù)高真空系統(tǒng)上都帶有電離真空規(guī)，此時(shí)也可用它來進(jìn)行檢漏。示漏物質(zhì)通過漏孔進(jìn)入系統(tǒng)后，規(guī)管離子流的變化是
式中Kt和KA分別代表規(guī)管對(duì)示漏氣體和空氣的靈敏度常數(shù)，Ie為燈絲發(fā)射電流，其余符號(hào)與式(13-29)相同。z*小可檢漏率為
由式(13 - 35)可見，本底流量Qo越小，靈敏度越高;若抽速一定，本底壓力Po越低，靈敏度就越高;Iβ一1 l數(shù)值越大，靈敏度越高;越小，靈敏度越高。等取決于系統(tǒng)壓力的穩(wěn)定度與測(cè)量線路的穩(wěn)定度，因而也就要求系統(tǒng)和規(guī)管除氣要好，抽速要穩(wěn)定，發(fā)射電流要穩(wěn)定，離子流放大器噪聲要低等。
例如，當(dāng)Po= 10Pa,SA=10L/s，且= 0.02時(shí)，如果用氫氣檢漏，p：0.5，可知，qA,min=4×10^-5Pa.L/S。
當(dāng)漏孔氣流特性為非分子流狀態(tài)時(shí)，可得類似的結(jié)果。當(dāng)抽速不受流阻限制時(shí)，應(yīng)按式(13 - 32)進(jìn)行計(jì)算。
上面所有的結(jié)論對(duì)于磁放電真空規(guī)也基本上是適用的。