當鈀管或鈀片加熱到700℃～800℃時，由于氫對鈀的滲透很強，使氫氣可以通過鈀，而其它氣體則不能通過。根據此原理做成的一種檢漏器叫氫一鈀檢漏器，其具體結構如圖13-20所示。它是一個帶有鈀管的已抽成高真空的密封的電離規管，鈀管外面有一個加熱器可將鈀管加熱。被檢件與這種電離規管一起接在真空系統上，在系統壓力為10-1Pa—l0-3Pa時，加熱鈀管，系統與泵隔離，用氫氣噴吹被檢件的可疑部位。如果有漏孔，氫氣通過漏孔進入系統并經鈀管進入電離規管內，此時電離規讀數便升高，指示了漏孔的存在。停止檢漏時，使系統與泵接通，電離規管內的氫氣又通過鈀管進入系統而被抽走。
一個典型的檢漏系統如圖13-21所示。此裝置就是英國愛德華公司生產的LT4A型檢漏儀。該檢漏儀使用擴散泵Ⅱ的原因是氣體通過它流動使被檢容器更加清潔。由于水蒸氣和熱鈀起作用后要放出氫氣干擾檢漏工作，因此，使用了液氮冷阱防止水蒸氣進入鈀管。
氫一鈀法的z*大工作壓力為4Pa，下限不受限制。此法的z*大優點是靈敏度與壓力無關。靈敏度一般為10^-4Pa·L/s—l0^-8Pa·L/s。
如果鈀表面被污染了，可在空氣中加熱凈化。