當(dāng)鉑加熱到800℃～900℃時(shí)會(huì)產(chǎn)生正離子發(fā)射，在鹵素氣氛中這種正離子發(fā)射將急劇增加，這就是所說的“鹵素效應(yīng)”。利用此效應(yīng)而設(shè)計(jì)的檢漏儀禰為鹵素檢漏儀，其原理如圖13-24所示。它的敏感元件是一個(gè)二極管，這個(gè)二極管的內(nèi)、外筒及加熱絲都是用鉑制成的。內(nèi)筒被熱絲加熱后發(fā)射正離子，外筒收集正離子，離子流的大小可用檢流計(jì)(或經(jīng)放大器放大后)指示出來，也可用音響來指示。有的儀器的敏感元件沒有內(nèi)筒而直接用加熱的鉑絲做發(fā)射極。加熱絲的供電可用直流或交流電源。
根據(jù)使用條件不同，鹵素檢漏器可分為兩類：敏感元件與待檢系統(tǒng)相連的稱為固定式鹵素檢漏儀;不與待檢系統(tǒng)連接的稱為攜帶式鹵素檢漏儀。前者在檢漏時(shí)需要將被檢系統(tǒng)抽到10- tPa—10Pa的真空度，示漏氣體(鹵素氣體)通過漏孔從外面進(jìn)入系統(tǒng)中，并進(jìn)入敏感元件所在空間。攜帶式鹵素檢漏儀則要求被檢系統(tǒng)預(yù)先充以高于一個(gè)大氣壓的示漏氣體，儀器探頭(敏感元件)在大氣中工作，將通過漏孔漏到外面來的示漏氣體由探頭檢示出來。
鹵素檢漏儀的z*小可檢漏率可達(dá)10^ -7Pa.L/s。示漏氣體采用氟里昂、氯仿、碘仿、四氯化碳等鹵素化合物，其中以氟里昂-12(CC12F2)效果z*好。