放射性同位素檢漏法可用于成批生產(chǎn)的小型密封器件(如電子管、半導(dǎo)體器件等)的檢漏。使用的放射性同位素一般為氪一85(KrB5)，其半衰期為10.3年，放射線中99%是p射線，0.7%是y-射線。
檢漏步驟：先將被檢器件清洗、烘干，而后放在一個(gè)密封的試驗(yàn)箱內(nèi)。試驗(yàn)箱抽成真空(102Pa即可)后，充人高壓的Kr85氣體，使器件在高壓力的Kt85氣氛中浸泡。浸泡的時(shí)間視所要求檢出的z*小漏率值而定(從幾分鐘到數(shù)百小時(shí)不等)。浸泡結(jié)束后，從試驗(yàn)箱中抽除KT85，取出箱內(nèi)的器件，清除這些器件表面上殘留的Kr85。然后用閃爍計(jì)數(shù)器在器件外面進(jìn)行檢測(cè)，根據(jù)測(cè)得的y-射線強(qiáng)度、浸泡時(shí)間、器件的容積及充入試驗(yàn)箱內(nèi)的Kr85氣體的壓力可計(jì)算出漏孔的大小。
此方法的檢漏靈敏度為10^-l0Pa.L/s。應(yīng)用比方法時(shí)應(yīng)特別注意放射性物質(zhì)的處理和防護(hù)。