我國從20世紀60年代初期開始研制、生產氦質譜檢漏儀，此后，在儀器的研制生產方面有了飛速的發(fā)展。已正式投產的國產儀器有10余種，現將部分儀器性能、指標分述如下：4.ZLS-23型氮質譜襝漏儀
此儀器是一種單級1806磁偏轉型儀器。結構小巧，便于移動，對機械泵及擴散泵冷卻風扇采取了減振措施，離子流的前級放大器使用了DC-4B靜電計管，儀器靈敏度高。
(1)性能指標
靈敏度：不用液氮，調整閥完全打開時為6.7×10-8Pa.L/s，用液氮，部分關閉調速閥時為10^-10Pa. L/s;
反應時間：不大于3s;
質譜室工作壓力：低于10^-2Pa;
儀器啟動時間：不大于2h;
液氮消耗：1L/24h;
人口法蘭處的抽速：5L/s;
功率消耗：1kW。
(2)儀器主要組成(圖13-37)
質譜室：氦離子軌道半徑R= 10mm，磁場強度H=175kA/m～199kA/m，離子加速電壓為100V左右。質譜室內有：陰極、離化室、加速極(引出極)、中間縫隙、抑制柵、收集極、放大器前級靜電計管DC-4B及高電阻。
真空系統(tǒng)：前級泵是2X-O.5型機械泵。主泵是抽速為120L/s的風冷三級油擴散泵，泵口設有擋油板，擴散泵的功率用負反饋可控硅控制電路來調節(jié)，使加熱電流可穩(wěn)定在±5%之內，從而保證抽速的穩(wěn)定。系統(tǒng)共有五個閥門：三個電磁閥，兩個手動閥。節(jié)流閥裝在外接法蘭與質譜室之間，用來控制質譜室內的工作壓力;粗抽閥用于預抽被檢件;放氣閥用于對機械泵和質譜室放大氣;抽速閥用于調節(jié)主泵對質譜室的抽速，它與冷阱配合可使儀囂的靈敏度進入10^-10Pa.L/s數量級，此閥還可以使質譜室與擴散泵隔離，以便在不停擴散泵的情況下對質譜室進行檢修。此外，因擴散泵開始加熱和停止加熱的20min內反油率較大，關閉此閥可減少油蒸氣對質譜室的污染;前置閥可使機械泵與擴散泵隔離;在前置閥與擴散泵之間有一個容積為1.25L的貯氣罐，用于穩(wěn)定擴散泵的前級壓力。當前置閥關閉后，擴散泵可以繼續(xù)工作20min。高真空部分有一個容量為1L的液氮冷阱，加入液氮可縮短系統(tǒng)的抽氣時間，以及防止由被檢件產生的水蒸氣、油蒸氣及其它污物對質譜室的污染。冷阱加入液氮后，可關小抽速閥，減少儀器的本底和噪聲，提高儀器的靈敏度。真空系統(tǒng)高真空部分的真空度用潘寧規(guī)測量，前級壓力用熱阻規(guī)測量。
供電線路：包括離子流放大器、音響裝置、離子源電源、潘寧規(guī)電源、真空保護繼電器、擴散泵加熱的可控硅穩(wěn)流源、電磁閥電源等。