我國從20世紀60年代初期開始研制、生產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀，此后，在儀器的研制生產(chǎn)方面有了飛速的發(fā)展。已正式投產(chǎn)的國產(chǎn)儀器有10余種，現(xiàn)將部分儀器性能、指標分述如下：ZhP-10型氦質(zhì)譜檢漏儀。
此檢漏儀是磁偏型以氦為示蹤氣體的高靈敏度的質(zhì)譜計。它具有常規(guī)檢漏和逆擴散檢漏兩種方式，漏率能自動顯示。可實現(xiàn)高壓力下(10Pa)檢漏。
技術性能：靈敏度優(yōu)于2×10^-9Pa.L/s，反應時間小于3s，啟動時間小于40min，液氮消耗量1L/24h。