真空技術(shù)的用材范圍包括真空規(guī)管、真空應用和真空工業(yè)設(shè)備的殼體，以及各種固定、活動、可拆連接機構(gòu)、各類真空獲得手段的工作物質(zhì)，等等。
在上述應用中，除了對材料的物理、化學、機械、電氣、熱學等性能有各種不同的要求之外，還對材料的真空性能有特殊的要求，如：氣密性和低的滲氣性能，溶解氣體量少和較低的出氣速率，低蒸氣壓和低分解壓力等等。
材料的物理化學性能在物理、機械、化學方面的手冊中已有敘述，本章只給出少數(shù)必要的數(shù)據(jù)。關(guān)于真空性能的數(shù)據(jù)則將作詳細介紹。
任何真空系統(tǒng)都應滿足如下動態(tài)平衡方程
式中 p-真空度[Pa];
S-有效抽速[L/s];
V-真空室容積[L];
Q-氣源的出氣量[Pa·L/s]。
當dp/dt=0時，真空系統(tǒng)處于抽氣與各種氣源之間的動態(tài)平衡狀態(tài)，即Po=Q/S (14-2)
Q的來源有以下幾種，分別以Q1、Q2、Q3、Q4、Q5表示：
Q1-漏氣孔的漏氣量;
Q2-真空泵本身構(gòu)成的氣源，如：擴散泵的反擴散氣體、返流蒸氣、濺射離子泵或冷凍泵申氣體的再釋等;
Q3-大氣通過真空室器壁材料滲透的氣體;
Q4——材料的出氣;
Qs-材料蒸發(fā)、升華的蒸氣和分解出來的氣體。
上述氣源絕大多數(shù)都直接或間接地與材料的真空性能有關(guān)。