為實(shí)現(xiàn)真空裝置的程序控制、真空工藝流程的自動(dòng)轉(zhuǎn)換、真空工藝參數(shù)的自動(dòng)調(diào)節(jié)，通常是用一些自動(dòng)控制元件、真空計(jì)、壓力控制儀和工業(yè)自動(dòng)化儀表、自動(dòng)控制裝置、微型計(jì)算機(jī)等組成的自動(dòng)控制系統(tǒng)來(lái)實(shí)現(xiàn)。不同的真空裝置其自動(dòng)控制系統(tǒng)不同，即使是同一類型真空裝置，因控制的技術(shù)要求不同，所采用的自動(dòng)控制系統(tǒng)也不同。
常用的真空裝置自動(dòng)控制系統(tǒng)有繼電器控制系統(tǒng)、壓力控制儀或工業(yè)自動(dòng)化調(diào)節(jié)儀表系統(tǒng)、可編程序控制系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)等。它們各具特點(diǎn)，分別適用于不同的真空裝置的控制。它們的性能比較如下：
真空裝置各類控制性能表
自動(dòng)控制系統(tǒng)是真空裝置的重要組成部分，它對(duì)提高真空裝置的技術(shù)性能起著重要作用。在確定真空裝置的控制系統(tǒng)時(shí)，應(yīng)在z*大限度地滿足真空裝置及其真空工藝對(duì)控制要求的前提下，妥善處理真空裝置的機(jī)械結(jié)構(gòu)和自動(dòng)控制系統(tǒng)的關(guān)系，力求控制系統(tǒng)簡(jiǎn)單、經(jīng)濟(jì)，不宜盲目追求高度自動(dòng)化；要合理選擇自動(dòng)控制元件、自動(dòng)儀表及自動(dòng)控制裝置，保證真空裝置安全、經(jīng)濟(jì)、可靠，并且便于操作和維修。
真空裝置的自動(dòng)控制系統(tǒng)的種類繁多，能實(shí)現(xiàn)的控制目標(biāo)也不同，因而其設(shè)計(jì)方法也不相同。通常是根據(jù)真空裝置的類型、技術(shù)指標(biāo)、工藝流程、傳動(dòng)參數(shù)、動(dòng)作要求及現(xiàn)場(chǎng)條件進(jìn)行。自動(dòng)控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)包括原理設(shè)計(jì)和工藝設(shè)計(jì)。其原理設(shè)計(jì)主要是選擇控制方案、繪制控制原理圖、編制設(shè)計(jì)計(jì)算說(shuō)明書等；工藝設(shè)計(jì)的目的是實(shí)現(xiàn)原理設(shè)計(jì)的技術(shù)指標(biāo)，為控制裝置的制造、調(diào)試、使用和維修提供控制系統(tǒng)的元器件布置圖、總接線圖，編寫使用說(shuō)明書等。