對于日常的測量來說，壓縮式真空規(guī)并不是一種很好的測量工作。因?yàn)樗墓ぷ饕核y對人體有傷害，操作也比較復(fù)雜，而且如果沒有熟練的操作技術(shù)，就很難獲得可靠的讀數(shù)。
但是壓縮式真空規(guī)在lPa—l0-3Pa壓力范圍內(nèi)是一種很好的真空測量標(biāo)準(zhǔn)，在它一百多年的發(fā)展過程中，逐漸發(fā)現(xiàn)和消除了一些誤差源，是一種研究得較深入的真空標(biāo)準(zhǔn)。曾經(jīng)進(jìn)行過壓縮式真空規(guī)之間的互校、壓縮式真空規(guī)與靜態(tài)膨脹式校準(zhǔn)系統(tǒng)之間的互校、壓縮式真空規(guī)與動態(tài)流量法校準(zhǔn)系統(tǒng)之間的互校，都獲得了良好的一致性。在國際上已公認(rèn)壓縮式真空規(guī)具有很高的可靠性，并普遍將它定為的真空測量標(biāo)準(zhǔn)。
壓縮式真空規(guī)的誤差源有：不穩(wěn)定的毛細(xì)作用、水銀蒸氣流效應(yīng)、靜電效應(yīng)、溫度變化、結(jié)構(gòu)尺寸不準(zhǔn)和偏離理想氣體的波義耳定律等。其中前兩項是主要的誤差源。
1939年盧森堡用磨毛的毛細(xì)管制作了壓縮式真空規(guī)。由于對毛細(xì)管內(nèi)壁進(jìn)行了磨毛加工，因而該真空規(guī)能有一對均勻內(nèi)徑的毛細(xì)管，并降低了由水銀在毛細(xì)管中的一些異常現(xiàn)象所引起的誤差。他認(rèn)為他的壓縮式真空規(guī)在10 -3Pa時的精度為±6%。
在盧森堡之后22年，日本人和德國人在1961年先后獨(dú)立地發(fā)現(xiàn)了壓縮式真空規(guī)的一個新誤差源，即水銀蒸氣流效應(yīng)可引起近20%的系統(tǒng)誤差。他們還采取了相應(yīng)措施，克服了85年來這種未被人們認(rèn)識的誤差源，使壓縮式真空規(guī)的可信程度大大提高了一步。
煞而，直到目前為止，在國外發(fā)表的文獻(xiàn)中，對影響壓縮式真空規(guī)測量精度的主要因素——毛細(xì)管中水銀不規(guī)則運(yùn)動所引起的一系列異常現(xiàn)象，尚未完全探清其本質(zhì)，也沒有從實(shí)踐中找到根本消除這些異常現(xiàn)象的方法，因此盧森堡的方法一直延用到現(xiàn)在。
1963年蘭州物理所為了提高壓縮式真空規(guī)的測量精度，著重研究了水銀在毛細(xì)管中的運(yùn)動狀態(tài)，基于大量的實(shí)驗(yàn)觀察，提出了“摩擦阻力是引起毛細(xì)管中水銀不規(guī)則運(yùn)動的主要原因”的假設(shè)，用“流動”模型和“塞流”模型解釋了毛細(xì)管中所發(fā)生的一系列異常現(xiàn)象。在此理論的指導(dǎo)下，從實(shí)踐中找到了涂油潤滑的新方法，即在毛細(xì)管內(nèi)表面涂一層厚度約為3ym的均勻油膜（DC-704油），較徹底地消除了毛細(xì)管中發(fā)生的一系列異常現(xiàn)象。