定溫型電阻規(guī)的工作原理是,保持熱絲溫度不變,當(dāng)壓力變化時(shí),熱絲的加熱功率隨之變化,調(diào)節(jié)電阻R。,以保持惠斯登電橋平衡(電流表G指示零),從而保持規(guī)管熱絲溫度恒定。
借助電阻值的改變來(lái)測(cè)量真空度(圖11-23)。
圖11-23定溫型電阻規(guī)測(cè)量原理圖
定溫型電阻規(guī)的靈敏度穩(wěn)定,其測(cè)量上限壓力可到10s Pa;但由于電表精度、窒溫變化、零點(diǎn)漂移等因素影響,此類電阻規(guī)的測(cè)量下限約為10 -lPa,定溫型電阻規(guī)的特點(diǎn)是量程寬,反應(yīng)時(shí)間快,但是自動(dòng)維持熱絲溫度恒定的電子學(xué)線路比較復(fù)雜。圖11-24是定溫型電阻規(guī)的校準(zhǔn)曲線。
圖11-24定溫型電阻規(guī)校準(zhǔn)曲線