諧振型粘滯性規此類規的早期結構是在規管的垂直方向安置一根張緊的細絲，當細絲在諧振頻率下振動時，氣體的阻尼效應會使細絲的振幅衰減，如采用一驅動信號使細絲維持等幅振蕩，則通過測量驅動信號的大小就可以求得氣體壓力。
圖11-34是一種稱為“Reva”型的粘滯性規。把放置在磁鐵2的縫隙間的金屬絲3通以交流電，并使絲振動，隨著壓力的增減，要維持絲的振幅不變，絲中電流需隨之增減，借此來測量真空度。此規量程為105Pa—10 -1Pa。但z*常用的測量范圍是10Pa—l0 -1Pa。在壓力區間內，規的輸出信號與壓力p間呈線性關系。
圖11-34 Reva型粘滯性規1-外殼；2-磁鐵；3-金屬絲；4-電源；5-電表。
另一種諧振型粘滯性規是一個由石英晶體組成的振蕩系統。借助電子學反饋技術，當壓力改變時，要維持晶體在等幅諧振下工作，則必須改變驅動信號的大小，借此達到測量的目的。