污染當對真空室進行抽空時，真空室必須干凈，以盡快達到所需壓力。真空系統典型的污染物包括
■■ 生產真空系統產生的殘渣表面、螺絲釘和密封件上的油脂
■■ 與應用相關的污染物過程反應產物、灰塵和顆粒
■■ 環境相關的污染物冷凝蒸汽，特別是吸附在容器壁上的水分。
因此，在安裝真空設備時有必要確保部件盡可能干凈。真空室中安裝的所有部件必須干凈、無油脂。安裝的所有密封件必須干燥。如果無法避免使用真空潤滑脂，且根本是輔助安裝而不是作為密封膠，必須非常謹慎地使用。如果將要產生高真空或超高真空，在裝配過程中必須佩帶干凈、不掉毛、無粉手套。