羅茨真空泵的應(yīng)用范圍
發(fā)布時間:2019-05-07 17:17:13 | 人感興趣 | 評分:3 | 收藏:
由于其低壓縮比,羅茨泵必須始終作為泵組合進行操作,用于產(chǎn)生真空。它們可實現(xiàn)的z*終壓力將是所選前級泵極限壓力產(chǎn)生的結(jié)果。由于通過吸附的氣體輸送,在范圍低于 10-4hPa 下使用羅茨泵不再可行。具有各種前級泵的泵站的抽速和極限壓力表現(xiàn)如Figure 4.19 所示。該曲線清楚地表明,這種泵組合的抽速上升了 8 倍,其極限壓力相對于前級泵下降了 15 倍。
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