液環真空泵
液環真空泵是抽出蒸汽的合適解決方案，此類蒸汽以化學方式侵蝕和分解前級泵油或具有如此低的蒸氣壓以致無法避免前級泵內發生冷凝，盡管有氣鎮。然而，它們將只實現通過工作液蒸氣壓確定的極限壓力。
如果使用 15°C 的水，液環真空泵預計的極限壓力約為 20 hPa，然后已經在氣穴范圍內工作。氣穴在接近泵極限壓力時發生。工作液在進氣側蒸發，且蒸汽氣泡突然在壓力側破滅。這會長期破壞泵。通過供氣無氣穴操作的液環泵實現的極限壓力約為 25 至 30hPa，羅茨泵和液環泵組合實現的極限壓力約為 1 hPa。在抽空對環境有害的物質時，液環真空泵不應與淡水一起使用。
在這種情況下，必須提供封閉的循環系統來推進合適的工作液經過冷卻了的熱交換器，以提取壓縮熱。
使用氣體噴射裝置的液環真空泵
羅茨真空泵、氣體噴射裝置和液環真空泵組合實現 0.2 hPa的極限壓力。如果需要實現較低的壓力，必須在上游連接附加的羅茨真空泵。