所有離子源的共同特點(diǎn)是它們可以連接至高達(dá) 150 V 的電勢(shì)。這避免了因 EID 離子導(dǎo)致的信號(hào)背景，（EID = 電子碰撞解吸，也稱為：ESD = 電子誘導(dǎo)脫附）。
軸向離子源
該離子源的特點(diǎn)是其極其堅(jiān)固的機(jī)械設(shè)計(jì)和高靈敏度。由于其開(kāi)放式結(jié)構(gòu)，它主要用于高真空系統(tǒng)中的殘余氣體分析。Figure 6.6 顯示了軸向離子源的示意圖。
陰極 (1) 布置在維納爾電極
(2) 中的孔內(nèi)，并在一側(cè)與該電極相連。
向陽(yáng)極(3) 加速的電子在形成區(qū)域
(4) 中電離氣體分子。正離子通過(guò)萃取孔
(5) 到達(dá)質(zhì)量過(guò)濾器。由于其相對(duì)開(kāi)放的結(jié)構(gòu)，通過(guò)解吸和表面反應(yīng)，只有輕微的歪曲。